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三维表面测量仪轮廓仪台阶仪(纳米级)

型号:NanoFocus2000

更新时间:2019-07-11

访问次数:511

简要描述:

三维表面测量仪轮廓仪台阶仪(纳米级)NanoFocus2000是用于表面结构测量和表面形貌分析的一款检测设备,测量精度重复性达到世界较高水平;关键硬件采用美国、德国、日本等;配备进口第三方校准标准件 高性价比微观形貌测量设备;迅捷、高效的上等售后服务

三维表面形貌仪 采用了上等光学系统,可通过非破坏观察法生产高画质的图像并进行**的3D测量,可以满足不同样品的观测需求

三维表面测量仪轮廓仪台阶仪(纳米级)NanoFocus2000是用于表面结构测量和表面形貌分析的一款检测设备

采用垂直扫描白光干涉和移相干涉技术,实现对样品表面粗糙度、台阶高度、关键部位的尺寸及其形貌特征的纳米级三维精密测量。广泛应用于半导体工艺、航空航天、太阳能电池工艺、材料表面工程、MEMS、超精密加工等领域。

三维表面测量仪轮廓仪台阶仪(纳米级)NanoFocus2000产品特点:

测量精度重复性达到世界较高水平

关键硬件采用美国、德国、日本等

配备进口第三方校准标准件

高性价比微观形貌测量设备

迅捷、高效的上等售后服务

覆盖范围广

兼容多种测量和观察需求

保护性

非接触式光学干涉测量

可操作性

“一键式”操作更简单、高效

智能化

特殊形状智能计算特征参数

个性化

定制化测试报告

NanoFocus2000三维表面微观形貌检测仪主要由精密载物台、照明系统、光学干涉成像系统、实现移相运动的微位移系统、图像采集系统及图像数据处理系统等组成。整个检测仪放置在气浮抗振平台上。载物台用于安放被测件,同时通过倾斜和XY二维平移调整使被测面**定位于感兴趣的区域;光源及照明系统提供给被测面均匀又充分的反射式照明;干涉成像系统采用Mirau干涉物镜结构获取被测表面干涉图像;采用压电陶瓷传感器(PZT)实现微位移控制;通过CCD与自主开发的软件系统采集并处理干涉图像,获得被测面的相位信息进而得到表面轮廓。

 

三维表面测量仪/三维表面形貌仪NanoFocus2000(纳米级) 主要指标:

    CCD分辨率:像素1280x960

    测试模式:PSI + VSI 检测模式

    纵向分辨率:<0.1nm 

    RMS重复性:<0.01nm,1σ

    台阶测量:准确度≤0.75%

    台阶高重复性≤0.1%,1σ

    高清晰无限远成像系统,白光高效LED,光谱滤光

    Nikon干涉物镜配置2.5x,5x,10x,20x,50x

    200mm手动样品台 (XY高精度)+ 倾斜±6°

 

三维表面测量仪/三维表面形貌仪NanoFocus2000(纳米级) 分析及控制软件:

    三维分析处理迅速,结果实时更新

    缩放、定位、平移、旋转等三维图像显示

    自主设定测量阈值,三维处理自动标注

    测量模式可根据需求自由切换

    可创建简单工作流程,简化重复工作

    三维图像支持高清打印

    可进行软件在线升级和远程支持服务

 

外形尺寸:

外形台式:气动防震平台

重量NanoFocus2000 :130Kg

尺寸(高×宽×长): 800×490×480 (mm)

环境要求:

温度:24℃ ± 2℃

温度变化率:<2.0℃/30 分钟

湿度相对湿度:10%—70%,无凝结

防震需要隔离:1—120Hz 的震动

附件:

物镜Nikon 干涉物镜,20× (可选配2.5×,5×, 10×, 50×)

工作台TMC 防震平台(需要地面振动环境达到VC-D 级别,无空气流动)

标准台阶块台阶高标准块(选配,100nm、1um、5um、10um、25um)

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